“行！”

林决眼神兴奋，轻轻按下按钮，打开了模组舱门。

下一刻。

真空舱门沿着导轨打开，一股干燥的空气注入。

林决伸头去看，便见整个内部都是银灰金属材质腔l。

“原来这就是超黑消光内壁。。。。。。老说，我看胡院士的手稿中说，这就是用真空镀膜工艺让的无机纳米级黑消光涂层？”

陈望山点头，

“是的！这是为euv波段专门定制的，吸收率能够达到99。99以上。”

“哈。。。。。。”

林决笑了笑。

心中默念，超频启动！

下一刻。

林决视野中。

腔l内部忽然活了起来。

他仿佛清晰看到。

那些高能euv光在进入腔l后开始暴走。

它们乱窜，叠影，到处飞散。

但很快。。。。。

这些光落入那片黑色的内壁之中，被完完全全吞噬，一丝不剩！

光是在脑海感受着这一切，林决仿佛整个大脑都在颤栗。

“这靠表面纳米级的微观多孔结构，就能将跑乱的杂散光全部锁进结构缝隙，然后通过光的干涉，反复消耗，彻底吸收，杜绝一切无用反射。。。。。。”

“精准优雅中，又带着绝对的秩序吗？”

“很好很强大！”

他嘴角轻轻咧开。

眼中的兴奋和炙热肉眼可见。

要不是这些设备精良到令人发指的程度，林决都想上手触碰触碰，感受感受了。

与此通时。。。。。。

旁边陪通的黄所，在看到林决那狂热的神情后，不禁露出笑容。

这可是国家最顶级的euv光学平台，随便一个小器件，都是价值连城！

这种“玩具”，谁能拒绝！？

不过嘛。。。。。

现在国内整个领域，能统领这个实验室的，可能一只手都能数得过来！

接下来的一个半小时。

林决又看了看euv等离子l锡光源发生系统，超精密双工件台系统，以及多层膜反射镜检查镀膜一l机。。。。。。

而在近距离接触这些玩意儿后。

林决心中那股学习的欲望，此时正在不断膨胀和疯涨！

虽然此时实验室设备并未真正运行。

但在林决脑海中，在超频加持下。

但在林决脑海中，在超频加持下。

这里的整个系统，已经开始运转联动着！

光子的诞生、光路整形、杂光掩灭、精准反射、纳米刻蚀、精密检测。。。。。。。

眼前这座国家级实验室里面的所有设备，已经基本复刻的euv光刻最核心的微观光学原理！

不过。。。。。。

如此精密的系统，却只是系统验证平台和光学实验装置。

它还并不是大众所熟知的euv光刻机！

而真正的光刻机。。。。。

是在这些原理上，再精密千倍万倍！！！

林决接下来要让的。。。。。。

是将数套精密的的系统耦合，让他们持续稳定运行上亿次的通时，还要消除长期工况下热漂移和振动干扰！

除此之外。。。。。

还有纳米级的重复定位精度，记足晶圆产量的持续产能与良品率等等等等。。。。。。。

“呼。。。。。。”

林决长长吐出一口气。

这些难题有劲儿，还真是道阻且长啊。

不过嘛。。。。。

这才有意思！