二极管制作的核心是pn结。
而提纯的锗不导电,掺入杂质之后才会导电。
所以她需要掺入磷、砷这些元素,会变成n型半导体,导电靠的是电子,带负电。
掺入硼、铝、镓这些元素,会变成p型半导体,导电靠的是空穴,带正电。
把p型和n型放在一起,交界面处就是pn结。
先在n型的锗晶片表面涂一层含有硼元素的掺杂剂,然后放进扩散炉里高温加热。
在高温下,硼原子会扩散到锗晶片的表层,把表面那一层从n型变成p型,这样就在同一块晶片上形成了一个pn结。
然后切割、研磨、镀上金属电极、焊上引线、封装,一个锗二极管就做出来了。
说起来简单,做起来极其复杂。
扩散炉的温度控制、扩散时间、掺杂剂的浓度,每一个参数都会影响二极管的性能,差一点都不行。
但二极管的参数,费多罗夫教授已经在课堂上讲过了。
笔记本上她也记载了,扩散温度八百五十度,扩散时间三十分钟,掺杂剂浓度只需要百分之零点一。
时珈一戴上手套,开始操作。
她把第一片单晶锗放在切割机上,切成了四个小方块。
刀片沿着晶体的解理面走,切出来的晶片边缘很整齐。
把切好的晶片放进清洗机里清洗了一遍,用氮气吹干,放在显微镜下检查表面有没有划痕和污渍。确认没有问题之后开始研磨。
这一步是为了去除切割时造成的表面损伤层,让晶片表面达到镜面平整度。
研磨机转起来了,发出声响。
她一手扶着研磨头,一手控制着压力,眼睛盯着显微镜上的刻度。
磨了将近半个小时,她停下机器,把晶片取出来清洗干净,放到显微镜下检查。表面平整度已经达标了。
下一步是掺杂。时珈一把硼掺杂剂涂在晶片表面,用量很少,涂得很均匀,小心翼翼地将涂好的晶片放进扩散炉的石英舟里,推入炉膛,关上炉门,设定温度和时间。
扩散炉的温控表上的数字一点一点往上升,直到八百五十度。
炉膛里透出红色的光,那是加热丝在发亮。
她盯着温控表,却不敢走开。
等到三十分钟到了。才把石英舟拉出来,炉门打开的一瞬间热浪扑面而来。
晶片表面的掺杂剂已经扩散进去了,颜色变深了一些。
她把晶片放进酸洗槽里洗掉残留的掺杂剂,用去离子水冲干净,吹干,放到显微镜下观察。
这时候,晶片表面已经形成了一层薄薄的p型层,厚度大概一两微米。
pn结做出来了。
直接在笔记本上写下记录。
接下来是制备欧姆接触。在p型区镀一层金属电极,在n型区也镀一层金属电极。
把晶片放进真空镀膜机的腔体里,抽真空到设定值,开始蒸镀。
金属蒸汽在晶片表面凝结成一层薄薄的银白色薄膜。
镀完之后取出晶片,在显微镜下检查,镀层均匀,没有脱落。
最后一步是封装,因为锗非常怕潮气。
她把晶片固定在金属底座上,用金丝把两个电极分别焊接到两根引线上,内部还填充了一点干燥剂,盖上金属外壳,封口。
做完之后,把那颗做好的二极管放在手心里端详。