柳洛尘指了指实验室:“胡院士你好,光刻机就在里面。”
胡佳妮顺势看了过去,顿时眼睛一亮,直接进入实验室。
“这比分布式投影光刻机先进太多了!”
胡佳妮看着眼前的光刻机,体型更小,设备更加精致!
“它能达到多少制程?有70纳米吗?不,100纳米也行!”
目前世界上最先进的光刻机光学分辨率,就是asml的fpa2500步进扫描曝光机!
它的光学光刻分辨率就是70nm的极限!
胡佳妮看过那台机器,绝对没有它眼前这台先进!
从体型上,那台机器更加庞大!
显得很臃肿。
而柳洛尘研发的这台体型比普通的光刻都要小,更加精致。
很多部件都缩小了!
里面的精密机机床也更加小巧!
相对于动辄一百多吨的光刻机,这台看起来应该只有几十吨!
光刻机是有上十万个精密零件组成的尖端科技设备。
很多零件体型就那么大,想要缩小非常困难!
除非突破现有科技水平,才能把整体全部做小!
所以虽然眼前这台光刻机体型小,应该更加先进!
柳洛尘伸出一根手指。
胡佳妮惊喜道:“真的有100纳米?太好了!”
虽然和她预估的,比asml的fpa2500先进,有些偏差。
但100nm也完全足够了!
要知道华夏国产的光刻机,光刻分辨率还停留在微米级别!
也就是几百nm!
柳洛尘摇了摇头:“是1纳米。”
“1纳米,我的天,这不可能!这,不对,你说什么?!”
胡佳妮一开始以为是10nm,她已经觉得不可思议了。
那已经领先世界太多了!
但是随后发现好像也不对。
柳洛尘笑道:“是1纳米光学分辨率。”
胡佳妮懵了,她呆呆的看着柳洛尘,脑袋一片空白。
1nm,1nm!
这怎么可能!
她的脑海里一直重复这个声音。